Stress-Messung
Prozesskontrolle dank präziser Messung
Mechanische Spannungen in dünnen Schichten können einen dramatischen Einfluss auf die Performance, die Haltbarkeit und Zuverlässigkeit des entsprechenden Schichtsystems haben. Im schlimmsten Fall kann es zu Abplatzungen oder Rissen führen, die die Beschichtung gänzlich zerstören.
Daher bieten wir unseren Kunden Messsystem an, mit denen diese Kenngröße erfasst werden kann. Auf Basis dieser Ergebnisse können vom Kunden entsprechende Gegenmaßnahmen entwickelt werden.
Vajotec bietet ex-situ Messsysteme an, die nach der Beschichtung eingesetzt werden können, wie auch in-situ Messsysteme, die in Echtzeit die Entwicklung der Spannung während des Schichtwachstums bestimmen.
Ex-situ – Messsystem
Ex-situ mit Ofen
In-situ – Messsystem
Ex-situ Spannungsmessgeräte
Das Spannungs Messgerät SIG-500SP wurde optimiert, um ex-situ die Spannung in Dünnschicht Systemen auf Referenzsubstraten zu messen. Es ist schnell und einfach zu bedienen und kann so gut wie überall aufgebaut werden, z.B. direkt in der Nähe der Beschichtungsanlage, um jede produzierte Charge gleich analysieren zu können. Auf diese Weise hilft Ihnen das Gerät bei der Qualitätskontrolle und unterstützt Sie beim Entwicklungsprozess.
Ex-situ Ofenerweiterung
Mit der Ofenerweiterung kann das Gerät die Spannungen in dünnen Schichten bei sich verändernden Temperaturen messen. Geht man von unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten von Schicht und Substrat aus, wird sich die Probe aufgrund des „Bimetall“-Effekts verformen. Darüber hinaus können zwei wichtige Parameter der Schicht ermittelt werden:
Der Elastizitäts-Modul und der thermische Ausdehnungskoeffizient.
In-situ Spannungsmessgeräte
Dieses System ist dafür entwickelt worden, die mechanischen Spannungen während der Beschichtung in Anlagen zu vermessen, bei denen die Substrate rotieren. Das System wird an der Beschichtungsanlage montiert und scannt durch ein Fenster ein Referenzsubstrat regelmäßig ab. Die sich permanent verändernde Krümmung wird somit stetig erfasst. Abhängig von der Geschwindigkeit, mit der die Probe gescannt werden muss, kann das System mit einem normalen oder einem Hochgeschwindigkeits-Detektor ausgestattet werden.